近日，由中科院上硅所牵头的2017年国家重点研发计划“重点基础材料技术提升与产业化”专项“高性能陶瓷部件高效精密制造关键技术”项目顺利通过综合绩效评价。

代表性成果：国产光刻机用大尺寸SiC精密陶瓷部件和碳化硅热交换管生产示范线

该项目面向市场迫切需求的几类典型高性能陶瓷材料部件的高效精密制造需求，重点开展高性能结构陶瓷的微结构与组成设计、精密成型、高温烧结、精密加工、工程化制造与应用等研究，突破了大尺寸复杂结构陶瓷部件的高效精密成型、低应力微小变形高温烧结、高效高精度加工、高纯材料制备、工程化制造与应用、服役性能评价等关键技术；面向国家重大需求和经济主战场，研制出了光刻机用碳化硅陶瓷运动台、高端装备用氮化硅轴承球、化工用碳化硅热交换管、半导体用高纯碳化硅涂层和氧化铝承载盘等系列典型产品，建成了碳化硅陶瓷热交换管和氮化硅陶瓷生产线。

该项目负责人为上海硅酸盐所刘学建研究员，联合北京中材人工晶体研究院有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司、上海中科易成新材料技术有限公司、无锡英罗唯森科技有限公司、中材高新氮化物陶瓷有限公司、洛阳轴研科技股份有限公司、广东工业大学、清华大学、上海微电子装备（集团）股份有限公司和郑州磨料磨具磨削研究所有限公司总计11家单位共同承担。

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