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内蒙古大全半导体有限公司年产1000吨半导体硅基材料项目

内容概述根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,按照包头市生态环境局《关于委托旗县区分局办理部分政务...

根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,按照包头市生态环境局《关于委托旗县区分局办理部分政务服务事项的通知》(包环办发[2020]132号)要求,经审核,我局将拟批准下列建设项目环境影响报告表(书)。为保证工作的严肃性和公正性,现将下列建设项目环境影响报告表(书)予以公示。公示日期为2025年1月6日-2025年1月10日(公示期为5个工作日)。

听证权利告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,自公示起五日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

电话:0472-6200558传真:0472-6200550

通讯地址:包头市九原区沙河镇建新街3号(014060)

项目名称:内蒙古大全半导体有限公司年产1000吨半导体硅基材料项目

建设地点:本项目位于内蒙古包头九原工业园区-新材料产业园新型化工及高分子材料产业区

建设单位:内蒙古大全半导体有限公司

项目概况:本项目总投资为100000万元,环保投资约1135万元。本项目拟利用“内蒙古大全新能源有限公司年产10万吨高纯硅基材料项目”的电解水制氢工段的氢气、粗三氯氢硅分离出高纯度的三氯氢硅作为原料,进一步对纯度99%三氯氢硅精馏提纯至99.9%,经过还原装置还原制硅送往后处理车间破碎、包装、酸洗,生产半导体硅基材料、N型料及硅芯。

本项目主要建设内容包括精馏装置、还原及水系统、后处理装置、尾气回收系统,同时配套设置中间罐区、纯水制备系统、综合仓库、危险品仓库及办公楼等公辅设施;冷却循环水系统、脱盐水站、工艺废气处理系统、含氟废水处理系统、高盐废水处理站、中水回用处理站、初期雨水池、事故池等依托内蒙古大全新能源有限公司已建成设施。本项目建设规模为年产1000吨半导体硅基材料。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施:

运营期污染防治措施分析

(1)废气:本项目废气为精馏工序各塔顶不凝气、还原工序还原炉置换废气(包含小试验炉废气)、破碎粉尘、包装粉尘、酸洗废气。

精馏工序各塔顶不凝气、还原工序还原炉置换废气(包含小试验炉废气):本项目精馏工序各塔顶不凝气、还原工序还原炉置换废气(包含小试验炉废气)主要污染物为氯化氢,经管道收集后依托新能源公司年产10万吨高纯硅基项目其中1套“深冷+二级洗涤(一级水洗、一级碱洗)”处理装置处理后由1根高度25m排气筒(DA012)排放。

经报告书中核算分析,本项目汇入新能源公司现有排气筒(DA012)后,氯化氢排放速率、排放浓度满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物二级排放限值。

后处理工序破碎、包装粉尘:本项目后处理工序设有1条N型料生产线,破碎、包装工序产生的粉尘分别经集气罩收集后分别进入1套布袋除尘器进行处理,处理后废气经各自配套的1根25m高排气筒(p1、p2)排放。

本项目后处理工序设有1条半导体硅基材料生产线,破碎、包装工序产生的粉尘分别经集气罩收集后分别进入1套布袋除尘器处理,处理后废气由各自配套的1根25m高排气筒(p3、p4)排放。

以上各排气筒排放的颗粒物、氟化物满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物二级排放限值。

未被收集的废气经车间阻隔以无组织形式逸散,厂界颗粒物排放满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2大气污染物无组织排放监控浓度限值。

酸洗废气:本项目酸洗工序包含硅芯及半导体硅基材料酸洗,硅芯酸洗用硝酸、氢氟酸,产生污染物为氮氧化物、氟化物;半导体硅基材料酸洗用硝酸、氢氟酸、盐酸,产生污染物为氮氧化物、氟化物、氯化氢。各工段酸洗废气分别经负压管道收集后进入1套四级喷淋塔喷淋处理,处理后废气由1根32m高排气筒(P5)排放,氮氧化物、氟化物、氯化氢排放满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物二级排放限值。

(2)废水:本项目废水主要为生产废水机封冲洗废水、纯水制备高盐水及反冲洗废水、后处理工序废水、还原炉筒清洗废水、还原水系统排水、循环水池定期排水以及生活污水。

生产废水均依托新能源公司已建成的废水处理设施进行处理。其中机封冲洗废水、纯水制备系统反冲洗废水、还原水系统排水、循环水池定期排水均进入新能源公司中水处理站,纯水制备系统高盐水、还原炉筒清洗废水进入新能源公司高盐废水处理站处理,后处理工序废水(包含机加工、水洗、喷淋塔排水)进入新能源公司含氟废水处理站。

生活污水满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准,经管网进入九原水质净化厂统一处理。

(3)噪声:本项目噪声主要来自于泵类、氢气压缩机、供酸机、截断机、打孔机、磨锥机、风机等设备运行噪声,通过采取选用低噪声设备、基础减振、消声及厂房隔声等措施,厂界噪声可满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准要求。

(4)固废:本项目产生的一般固废:还原炉产生的废石墨头,后处理车间产生的硅粉及碎料、废石墨件,除尘器收集的除尘灰,纯水制备系统产生的废离子交换树脂、废反渗透膜。其中废石墨头、硅粉及碎料、废石墨件、除尘灰均暂存于一般固废间,定期外售综合利用;废离子交换树脂、废反渗透膜由厂家更换后带走,不暂存。

本项目产生的危险废物:精馏工段产生的废吸附树脂,还原尾气回收工段产生的废活性炭,设备养护维修产生的废机油及废油桶,硝酸、盐酸、氢氟酸等废包装桶,分区暂存于危废暂存库,委托有资质单位处置。

本项目依托新能源公司高盐废水处理站、含氟废水处理站、中水站产生的污泥、结晶盐,需进行属性鉴定,根据鉴定结果进行相应处理,在鉴定之前暂存于危废暂存间,按照危险废物进行管理。

生活垃圾经垃圾桶收集后委托环卫部门处置。

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