据报道，江苏集芯近日成功出炉首枚8英寸液相法（LPE）碳化硅单晶，经检测晶体面型、晶型与结晶质量达标，在技术路线上填补了国内空白，在产品上完成从6英寸到8英寸的跨越。

LPE是liquid phase epitaxy的缩写,全称意义是液相外延。该技术因有望实现更高的效率、更低的成本和更好的材料利用率，被视为物理气相传输（PVT）晶体生长的潜在替代方案。显而易见的，LPE可以省去高纯SiC粉末的制备，液相掺杂也更灵活。但在日韩（日本古河、韩国LG）以及国内长期研究中，基本还停留在研发和实验室小试阶段，未有令人信服的性能或成本突破。据业内人士总结，主要原因大概可以总结为以下几个方面：

1、纯度，LPE通过碳、硅液相反应生长，环境杂质控制难度大；

2、杂相，液相生长更容易生成3C-SiC，而非半导体晶圆的4H-SiC，存在混合相干扰；

3、缺陷，液相生长速度快，晶种与液体界面容易出现失配；

4、装备，扩大生产缺乏成熟的装备平台以及工艺方面的系统解决方案。

公开信息显示，江苏集芯成立于2023年，聚焦第三代半导体碳化硅材料研发，产品覆盖高纯SiC粉料（≥6N）、6/8英寸SiC衬底及配套材料。一期产能规划为15万片衬底/年，已实现PVT法6/8英寸量产。本次实现LPE技术重大突破，意味着中国在下一代SiC衬底技术上具备强大竞争力，引领SiC产业升级革新。